簡介：

 

 

四探針測試儀

產品詳情

產地：美國

技術規格：

1. 面電阻量測范圍： 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)

2. 樣品尺寸：支持10mm至300mm wafer

3. 量測系統包括：Jandel RM3000測試單元

4. 測試精度：0.05% at 23℃

5. 溫度可變范圍：-100℃ ~ 200℃

6. 軟件操作簡單可以支持with Windows XP, Windows 7 或Windows 8操作系統，USB2.0 或USB3.0接口

7. 可選擇量測晶圓上1, 5, 9, 25, 49, or 121個測試點或者自定義量測圖

8. 可繪制2D和3D數據結果圖

9. 輸出電阻，電阻率和厚度等量測結果

10. 系統支持JANDEL探測頭，插入式更換，操作簡單

 

產地：韓國

技術規格：

1. 輸入電流  Input current: 1nA ~ 20mA ( Easily check “Contact fail”);

2. 電阻率測量范圍  Resistivity range: 10exp-4 ~ 10exp7 ?cm;

3. 可測量阻抗(?)、表面電阻(?/sq)、電阻率(?.cm)等數據  

4. 可得到I-V I-R曲線  

5. 完整的儀器控制與數據分析軟件

6. QPP探針：

Inter-pin distance 1.5mm, pin points 0.26R, spring pressure 70g/pin

7. 可選配溫控模塊：Temp: RT ~300 c° control，Accuracy: +/-0.1 c°.

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